株式会社エイチ・ティー・エル

微小寸法測定装置 Venus

FPD用フォトマスクのCD（パターン寸法）を正確に測定。

特長: ・長期安定性と防振性に優れた高精度XYステージとリニアスケールによる正確なフィードバックシステムにより、良好な再現性を実現。
・高解像度モノクロCCDカメラ（200万画素、1/1.8インチ）と高性能マイクロスコープにより鮮明な画像の取得が可能。
・自動計測により、マスクのたわみや反りによる影響を受けず、オペレータによるばらつきのない、安定した測定結果を取得可能。