半導体フォトマスク用レーザCVD欠陥修正装置 CRS400S/S+
半導体、電子部品用フォトマスクの白黒欠陥を高精度で修正を行う装置です。
- 特長
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・V-Technology/HTL 共同開発の半導体Middle/Low、電子部品用フォトマスク修正装置
・長寿命LD励起固体レーザを使用し安定した白黒欠陥修正。
・独自開発の光学系を使用。アパーチャビームによる高速大面積の欠陥修正とスポットビームによる微小欠陥の高精度修正を実現。
・スルーペリクル対応(ZAPのみ)
・高精度カラー表示による画像モニター
・各種欠陥検査機通信インターフェイス、データフォーマットに対応
※製品の詳細仕様は、弊社営業部門までお問い合わせをお願いいたします。 - 対応マスクパターン
- 1.0 μm Line & Space
- 対応フォトマスクサイズ
- 5インチ~9インチ
- 製品メーカー
- 株式会社エイチ・ティー・エル / V-TECHNOLOGY社