E-RETICLEは、フォトマスクの製造工程中に発生する静電気をリアルタイムで測定するインライン静電気測定システムです。
従来の測定方法では難しかった、製造プロセス中の静電気の蓄積や放電のリスクを可視化します。

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  6インチフォトマスク状測定センサー
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  8インチSMIFドッキングステーション
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  ウエハ状測定センサー
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  ウエハ用ドッキングステーション

E-RETICLEの主な機能と特徴

・リアルタイム測定：マスク表面の4つの異なる領域の電位差を測定し、静電気のリスクが高い箇所を特定します。
・データ記録と分析：内臓のリアルタイムクロックとメモリ、WLAN接続機能により、測定データを蓄積し、専用ソフトウェアで詳細な分析が可能です。
・SMIF互換ドッキングステーション：自動化された製造プロセスに組み込むことができ、実際のフォトマスクと同様の条件で測定を行えます。
・携帯型オプション：エンジニアリングや研究開発用途向けに、ポータブルタイプのドッキングステーションも用意されています。

利用シーンと導入メリット

・製造工程の最適化：静電気の発生源やリスク箇所を特定し、対策を講じることで、製造工程の信頼性を向上させます。
・マスクの寿命延長：静電気による微細な損傷を未然に防ぐことで、フォトマスクの寿命を大幅に延ばすことが可能です。
・品質管理の強化：リアルタイムでの測定とデータ分析により、製品の品質管理体制を強化できます。

Estion Technologies 静電気測定シリーズ

E-WAFERは、200mmまたは300mmのシリコンウェーハに静電気測定センサーを組み込んだ、インライン静電気測定システムです。

E-PANELは、フラットパネルディスプレイ（FPD）製造工程中に発生する静電気をリアルタイムで測定するインライン静電気測定システムです。
ガラス基板の裏面に直接貼り付けて使用し、製造プロセス中の静電気リスクを可視化します。

詳細はお問い合わせください。

製品メーカー

Estion社