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ナノインプリント標準スタンプ販売
ナノインプリント標準スタンプは、ニル・テクノロジー社があらかじめ定義した転写面パターンを持つ費用対効果の高いスタンプです。材料テストやプロセス最適化に有用です。

ナノインプリント標準スタンプは転写面の形状や構造物サイズがそれぞれ異なります。構造物サイズは微細なものでは50nm以下になります。

スタンプの材質はシリコン、石英、ニッケルがあります。

マイクロレンズアレイ標準スタンプ 
マイクロレンズアレイ標準スタンプは、密接に配置されたマイクロレンズ集合体の形状です。この標準スタンプは製品開発や製造工程設計の他、研究開発に向けた汎用性の高いマイクロレンズアレイとして設計されました。

特長
・マイクロレンズアレイ構造
・50mm×50mmの広い転写面
 マイクロレンズアレイ標準スタンプ

 マイクロレンズアレイ標準スタンプ
仕様   
スタンプ材質 ニッケル
 スタンプ厚 100 μm - 300 μm
 スタンプサイズ  70 mm x 70 mm
 転写可能面積 50 mm x 50 mm
 構造タイプ マイクロレンズアレイ
構造形状  六角形/ハニカム
 レンズ直径 9 μm 
 平均レンズ高 5.5 μm 
※オプションで、ダイシングと離形表面処理が可能。
:マイクロレンズアレイ標準スタンプはテストや製品開発専用です。商用利用には使用料契約が必要です。

ワイヤーグリッド偏光板標準スタンプ 
ワイヤーグリッド偏光板標準スタンプは、テスト用途でのナノインプリントリソグラフィーによるワイヤーグリッド偏光板製造に最適です。最大12mm×12mmの転写サイズを確保できます。スタンプには50nmのラインとスペースが交互にあります。この標準スタンプは熱/UV両方のナノインプリントリソグラフィーに使用できます。

特長
・ナノインプリントリソグラフィーやワイヤーグリッド偏光板の
 テストのための費用対効果の高いスタンプ
・50nm幅のライン&スペース
 ワイヤーグリッド偏光板標準スタンプ
 
ワイヤーグリッド偏光版標準スタンプ

仕様   
スタンプサイズ 平らな2インチウェハー
 スタンプ材質 シリコン
 スタンプ厚  500 μm ± 25 μm
 構造物サイズ 50 nm幅のライン&スペース
左右方向公差 ± 10 nm
構造物高さ 100 nm
上下方向公差 ± 15 nm 
 欠陥密度 転写面の0.1%以下
※オプションで、ダイシングと離形表面処理が可能。


反射防止標準スタンプ 
反射防止標準スタンプは、大型で費用対効果が高く、機能的なニッケル製標準スタンプです。形状や反射率が異なる4種類のスタンプからお選びいただけます。

特長
・費用対効果が高く大型な標準スタンプ
・反射を防止する表面形状
・300mm×300mmまでのスタンプサイズ
・1%以下の反射率
・標準仕様と高性能仕様
 反射防止標準スタンプ
仕様     
標準仕様 タイプA  タイプC
 光学機能 反射防止標準仕様 反射防止標準仕様 
 回折格子タイプ 六角形アレイ 六角形アレイ
 ピッチ 250 nm   250 nm
 平均高さ 250 nm 250 nm 
スタンプサイズ  120 mm x 120 mm  300 mm x 300 mm
 パターンエリア 100 mm x 100 mm   280 mm x 280 mm
 スタンプ厚 100 μm - 300 μm  100 μm - 300 μm 
 アクリル樹脂反射率 0.9%以下  0.9%以下 

高性能仕様 タイプB  タイプD
 光学機能 反射防止高性能仕様 反射防止高性能仕様 
 回折格子タイプ 六角形アレイ 六角形アレイ
 ピッチ 300 nm  300 nm
 平均高さ 350 nm 350 nm 
スタンプサイズ  70 mm x 70 mm  120 mm x 120 mm
 パターンエリア 50 mm x 50 mm  100 mm x 100 mm
 スタンプ厚 100 μm - 300 μm  100 μm - 300 μm 
 アクリル樹脂反射率 0.6%以下  0.6%以下 
※垂直から45°以上の角度では、回折光が発生します。
※オプションで、離形表面処理が可能。

:反射防止標準スタンプはテストや製品開発専用です。商用利用には使用料契約が必要です。

回折格子標準スタンプ 
回折格子標準スタンプは、周期的に突起と溝を造形した回折格子パターンです。数種類の仕様からお選びいただけます。

特長
・シリコン製の安価な回折格子
・ピッチ、突起の幅・高さが異なる数種類のスタンプ
・テストや研究開発の様々な分野で使用可能
・最低180 nmのピッチ
 回折格子標準スタンプ
仕様               
スタンプNo.  回折格子
タイプ
スタンプ
サイズ 
 転写可能
面積
ピッチ  幅   突起角
粗さ
突起
高さ
GS4-1  ラインアレイ 2 cm x 2 cm  1.7 cm x 1.7 cm  200 nm  90 nm  10 nm 100 nm
 GS4-2  ラインアレイ  2 cm x 2 cm 1.7 cm x 1.7 cm  250 nm 145 nm   5 nm  100 nm
 GS4-3 ラインアレイ  2 cm x 2 cm  1.7 cm x 1.7 cm 300 nm  170 nm  10 nm 100 nm
 GS4-4 ラインアレイ   2 cm x 2 cm 1.7 cm x 1.7 cm  350 nm 215 nm  10 nm 100 nm
GS4-5 ラインアレイ   2 cm x 2 cm 1.7 cm x 1.7 cm  400 nm  270 nm  15 nm  100 nm
GS5-2  正方形柱アレイ 2 cm x 2 cm  1.7 cm x 1.7 cm  400 nm  205 nm  10 nm 275 nm
※オプションで、離形表面処理が可能。

複合パターン標準スタンプ
複合パターン標準スタンプはナノインプリント工程やナノインプリントリソグラフィー装置のテストに最適です。この標準スタンプには50 nm以下の線幅もあります。この標準スタンプは、5の異なった転写面パターンを持つ8の領域に分かれています。領域はそれぞれ線幅やピッチが異なっています。この標準スタンプはシリコン製と石英製があります。.

特長
・テスト用の費用対効果の高いスタンプ
・ナノインプリント工程やナノインプリントリソグラフィー装置の
 テストに最適
・8の転写面
・5の異なったパターン(蛇行・横棒・格子・線状突起・柱)
 複合パターン標準スタンプ
仕様   
スタンプサイズ 円形2inchウェハー
 スタンプ材質 石英 or シリコン
 スタンプ厚  500 μm ± 25 μm
 構造物サイズ 50 nm - 300 nm
突起高さ ±100 nm ±15 %
ライン幅公差 50 nm: ±30 %
100 nm: ± 20 %
150 - 300 nm: ± 15 %
欠陥密度 ± 15 nm 
※オプションで、離形表面処理が可能。

広範囲柱状標準スタンプ 
広範囲柱状標準スタンプはシリコン製の標準スタンプです。大型でフォトニック結晶と反射防止用の造形がされています。転写面は4の領域に分かれており、それぞれ1 cm × 1 cmの正方形に柱のアレイが造形されています。

特長
・低コストで高品質な標準スタンプ
・寸法の異なる4種類の柱がアレイになった4の領域
・フォトニック結晶構造と反射防止構造
・125 nmから275 nmまでの構造サイズ
 フォトニック結晶標準スタンプ
仕様   
スタンプサイズ 円形2inchウェハー
 スタンプ材質 シリコン
 スタンプ厚  525 μm ± 25 μm
 構造物サイズ 125nm - 275 nm(面取りした正方形)
 構造物ピッチ 200 nm - 500 nm
突起高さ 100 nm - 300 nm(任意)
左右・上下方向公差 ± 15 %
欠陥密度 0.1 %以下 
※オプションで、離形表面処理が可能。


 
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