デンマーク ニル・テクノロジー社 日本総代理店 HTL
   ニル・テクノロジー   
 
 
 
 HTL Home > ニル・テクノロジー社製品ご紹介ページHome >カスタムスタンプ販売 サイトマップ
 


 カスタムスタンプ製品例

シリコンカスタムスタンプ
シリコンカスタムスタンプ

石英カスタムスタンプ
石英カスタムスタンプ
 
石英65カスタムスタンプ
石英65カスタムスタンプ
 
ニッケルカスタムスタンプ
ニッケルカスタムスタンプ
 
 
カスタムスタンプ販売
ニル・テクノロジー社のカスタムスタンプは最新の電子ビームリソグラフィーを用いて作成しています。ピッチや線幅のようなパラメータはとても正確で、スタンプ全体を通じて均一です。全てのカスタムスタンプは、お客さまの要求に厳密に基づいて設計されます。カスタムスタンプは、商品開発や試作に適しています。

一般的なウェハー形状と、65 mm× 65 mmのスタンプを提供しています。

シリコンカスタムスタンプ 
ニル・テクノロジーのシリコンスタンプは、ウェハースケールのインプリンティングやステップ&リピートのインプリンティングのために設計され、通常は熱インプリント装置で使用します。ニルテクノロジーのカスタムスタンプは、商用利用可能な全てのナノインプリントリソグラフィー装置で使用可能です。また、最新の電子ビームリソグラフィーによって作成され、構造物は最小20 nmまで小さく出来ます。
   
仕様   
スタンプ材質 シリコン
 スタンプサイズ 2,3,4,6インチの円形ウェハー
または、これらのウェハーより小さい矩形
 スタンプ厚  通常500 μm,最高2 mm
 パターンサイズ 20 nm以上
 アスペクト比 1 : 2から1 : 10
デザイン  お客様指定
 離形処理 オプション 

石英カスタムスタンプ 
ニル・テクノロジーの石英スタンプは、ウェハースケールのインプリンティングやステップ&リピートのインプリンティングのために設計され、通常はUVインプリント装置で使用します。ニルテクノロジーのカスタムスタンプは、商用利用可能な全てのナノインプリントリソグラフィー装置で使用可能です。また、最新の電子ビームリソグラフィーによって作成され、構造物は最小20 nmまで小さく出来ます。
   
仕様   
スタンプ材質 石英
 スタンプサイズ 2,3,4,6インチの円形ウェハー
または、これらのウェハーより小さい矩形
 スタンプ厚  通常500 μm,最高2 mm
 パターンサイズ 20 nm以上
 アスペクト比 1 : 1から1 : 5
デザイン  お客様指定
 離形処理 オプション 

石英65カスタムスタンプ 
ニル・テクノロジーの石英65スタンプは、6025フォトマスクブランクス用の石英製カスタムスタンプです。最終製品の石英65カスタムスタンプは、サイズが65 mm×65 mm
×6.35 mmで、中央に25 mm
×25 mm×15 μmのメサ状構造物があります。メサ状構造物の周囲は通常透明ですが、例えばクロムが塗布されている場合不透明です。ニルテクノロジーのカスタムスタンプは、商用利用可能な全てのナノインプリントリソグラフィー装置で使用可能です。また、最新の電子ビームリソグラフィーによって作成され、構造物は最小20 nmまで小さく出来ます。
   
仕様   
スタンプ材質 石英
 スタンプサイズ 65 mm × 65 mm
 スタンプ厚  6.35 mm
 デザイン お客様指定
 パターンサイズ 20 nm以上
アスペクト比  1 : 2から1 : 4
 台地部サイズ 最大25 mm×25 mm 通常10 mm×10 mm 
台地部高さ  15μm 
台地部周辺 透明,不透明(クロム塗布) 
 離形処理 オプション

ニッケルカスタムスタンプ 
ニル・テクノロジーのニッケルカスタムスタンプは、ウェハーやそれより大きいサイズのインプリンティングのために設計されました。通常は熱インプリント装置や熱エンボス装置で使用します。ニルテクノロジーのカスタムスタンプは、商用利用可能な全てのナノインプリントリソグラフィー装置で使用可能です。熱エンボス加工のために、高精度のμmサイズの造形をもつ、ニッケルスタンプをご用意できます。
   
仕様   
スタンプ材質 石英
 スタンプサイズ 2,3,4,6インチの円形ウェハー.または、
これらのウェハーより小さい任意形状.
要望により、これ以上のサイズも可
 スタンプ厚  通常300 μm - 1 mm, 最高2 mm
 パターンサイズ 20 nm以上
 アスペクト比 1 : 1から1 : 4
デザイン  お客様指定
 離形処理 オプション 

 
株式会社エイチ・ティー・エル
〒190-0012 東京都立川市曙町2-9-1菊屋ビル6F 
Tel: 042-523-2871 Fax: 042-523-2803
E-mail: htl@htlco.co.jp
(C)2010 HTL Co., Japan Ltd. All rights reserved