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半導体・FPD事業 半導体検査・リペア装置 プラズマ・エッチング装置 CD測定装置 半導体外観検査装置 フィールドサービス
半導体・FPD事業 ENGLISH
半導体・FPD製造装置
 
ハイデルベルグ製品
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マスク描画装置 VPG1600
2D/3Dレーザー描画装置 DWL8000
 
アプライドマテリアルズ製品
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半導体マスク描画装置 ALTA3900 / ALTA4700
 
日清紡アルプステック製品
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レーザースクライバー  AE-LS4G
マキシス製品
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Deep-RIE装置 MAXISTMシリーズ(プラズマドライエッチング)
RIE装置 MECCASTMシリーズ(リアクティブイオンエッチング)
静電チャック用高電圧電源 UNICONTMシリーズ(ESC電源)
ブイ・テクノロジー製品
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LCD欠陥観察装置 Asteroid II
LCD座標測定装置 Mercury
 
ニルテクノロジー製品
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ナノインプリント・モールド製造   インプリント受託加工
半導体検査・リペア装置
 
日本電気製品
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レチクル欠陥検査装置 LM-7000B/B-II
 
製品
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LCDレーザーマスクリペア装置
半導体レーザーマスクリペア装置
ストレスリリース用プラズマ・エッチング装置
 
PVAテプラ製品
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ストレスリリーフ用プラズマ・ドライエッチ装置 silicon star8/12
CD測定装置
 
マイクロメトリック(ビューエンジニアリング)製品
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CD測定装置 MicroLine420
半導体外観検査装置
 
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フィールドサービス
 
半導体外観検査装置の移設、点検、修理、保守部品の供給を行っております。 お客様がお使いになっている装置が常に所定の性能を維持できますよう、アフター サービスには万全を期しております。
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