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| マスク描画装置 |
VPG1600 |
| 2D/3Dレーザー描画装置 |
DWL8000 |
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| 半導体マスク描画装置 |
ALTA3900 / ALTA4700 |
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| Deep-RIE装置 |
MAXISTMシリーズ(プラズマドライエッチング) |
| RIE装置 |
MECCASTMシリーズ(リアクティブイオンエッチング) |
| 静電チャック用高電圧電源 |
UNICONTMシリーズ(ESC電源) |
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| LCD欠陥観察装置 |
Asteroid II |
| LCD座標測定装置 |
Mercury |
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| ナノインプリント・モールド製造 |
インプリント受託加工 |
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| LCDレーザーマスクリペア装置 |
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| 半導体レーザーマスクリペア装置 |
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| ストレスリリーフ用プラズマ・ドライエッチ装置 |
silicon star8/12 |
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| 半導体外観検査装置の移設、点検、修理、保守部品の供給を行っております。
お客様がお使いになっている装置が常に所定の性能を維持できますよう、アフター
サービスには万全を期しております。 |
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